空氣彈簧減振器技術領域的關鍵技術

技術領域

本產品歸屬于高精密減振技術領域，關鍵涉及到一種共面汽浮正交和解耦和軟性膜角解耦的磁懸零彎曲剛度彈簧減振器。

環境技術性

[0002]伴隨著超精密機械加工和測量精度的不斷提升，自然環境震動早已成為了牽制超精密機械加工專用設備和檢測儀器精密度和特性提升的主要要素。尤其是以步進電機掃描儀光刻技術為象征的集成電路工藝電子器件生產設備，技術性抗壓強度和復雜性極高，空氣彈簧重要性能指標做到了原有工藝的極限，意味著了超精密機械加工的較高水準機器設備。空氣彈簧高精密減振已變成此類機器設備的關鍵核心技術；步進電機掃描儀光刻技術線距已做到22nm及下列，圓晶精度等級和疊合精密度做到數納米技術，產品工件臺健身運動速率做到lm/s以上，產品工件臺瞬時速度做到重力加速度的幾十倍，對原有的空氣彈簧震動明確提出了新的挑戰隔離技術。最先，光刻技術必須為計量檢定系統軟件和光刻技術測微目鏡給予“超靜音模式”的辦公環境，與此同時還必須推動產品工件操作臺快速、高瞬時速度挪動，這對空氣彈簧減振系統軟件的減振特性明確提出了極為嚴苛的規定。三個方位的共振頻率都必須在1Hz下列；次之，光刻技術各組件間的相對位置，如光刻技術測微目鏡與單晶硅片表層的間距，都是有十分嚴謹的規定，處在關閉的部位環中。在意見反饋自動控制系統的操縱下，規定彈簧減振器左右安裝板中間的相對位置精密度做到10μm數量級，而傳統化的彈簧減振器精度等級遠遠地不可以符合要求。