半導體精密微光刻機減震器液壓缸推力不足是什么原因？

漏油原因：液壓缸與活塞桿中間因損壞而間隙太大。假如活塞桿配有密封圈，會因為密封圈損壞或衰老而喪失封口作用。

對策：拆換活塞桿或密封圈，保持間隙。

假如只經常應用氣缸某一位置，部分損壞比較嚴重，間隙擴大，氣缸泄露。這時，可以再次研磨缸孔并重新部署活塞桿。

氣缸內部構造不一樣，姿勢摩擦阻力太大，使氣缸速度隨日程安排位置而轉變。

大蘭液壓油缸

發生這種情況的原因：聽說是組裝品質不行導致的。（液壓缸密封性過緊，液壓缸過長，造成滾動位置工作壓力太大）或廢棄物進入氣缸滾動位置（特別是顆粒廢棄物）。

假如調速閥進入臟物，閥心處于開與關狀況減震器液壓缸壓差，液壓油全自動流進機油箱，液壓油缸內并沒有液壓油注入。假如負載太大，雖然調速閥的調整工作壓力已實現較大額定值，但液壓缸仍不可以獲得不斷姿勢所需的力，液壓缸不動。假如調節工作壓力低，沒法做到負載所需的驅動力，則為工作壓力不夠，驅動力不夠。這類問題都產生在閘閥上減震器液壓缸壓差，因此應當檢查閘閥。

半導體精密微光刻機減震器液壓缸推力不足是什么原因？

1.氣缸里有大氣或油泵提供的油不夠，會讓氣缸姿勢不穩定（或慢）。

排除主缸氣體或檢查油泵。

2.也有一種情況是壓力表上表明的氣缸壓力充足了，但是氣缸或是推不動。

發生這種情況的原因：一般是減震器活塞桿側面與缸蓋觸碰緊密，工作壓力油不能加入或合理工作上總面積太小，沒法產生充足的驅動力使氣缸運動。