橡膠空氣彈簧電離子鍍裝置特點

①蒸發、離化和加速三種過程可分別獨立控制。離化是靠射頻激勵，而不是靠加速直流電場激勵，基體周圍并不產生陰極暗區。

②橡膠空氣彈簧在10-3~10-1Pa高真空環境下也可穩定放電工作，離化率高，可達5%-15%.提高了沉積粒子的總能蟹，改善了鍍層的致密度和結晶的結構。因此制備的鍍層表面缺陷及針孔少，膜層質量均勻致密，純度高.質最好。尤其對制備氧化膜和氮化膜等化合物膜十分有利。

③易進行活性反應離子鍍.合成化合物和對非金屬基體沉積具有優勢。